1、亚纳米级套刻测量精度，全面覆盖多种工艺需求多样化工作模式，保障工艺波动下的鲁棒性

2、预防性诊断和自动校准，保障设备稳定运行

3、Recipe自动优化，及数据集中管理，节约人力成本

4、多维度测量结果评价和展示，快速聚焦工艺问题