半导体缺陷自动
分类系统
产品介绍
产品特点
1、可定制:针对Sinf图、2D/3D缺陷导出可以定制化输出格式
2、任务分发:自动推送机台扫描完成的wafer,无需手动查找
3、管理员机制:分级权限设定,不同质检员有不同的操作权限
4、统计分析:支持良率导出、过检漏检率分析、缺陷图像导出等
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良率管理系统DMS/YMS
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无