1、高精度、高重复性膜厚测量，全面覆盖多种工艺需求，宽光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射式膜厚仪、应力等多种非接触光学探头可选，满足各种量测场景需求

2、全自动量测任务下发及结果上报，节约人力成本

3、多维度量测结果评价与展示，直观展示工艺问题

4、配置离线分析和批量导入，节约机台使用时间